石英晶體頻率元器件工藝革新項目

南京經濟技術開發區新港大道56號

南京中電熊貓晶體科技有限公司

南京源恒環境研究所有限公司

企業計劃改進清洗工藝并新建wafer水晶片生產線。預計購置全自動清洗機來改進清洗工藝，提高產品質量；同時，利用現有生產車間通過購置石英晶片wafer清洗機、全自動光刻機、涂膠顯影機等設備新建wafer水晶片生產線，形成每月2000片3寸wafer水晶片的生產能力。

（1）廢水：項目含鉻廢水預處理后與綜合廢水一同經廠區污水處理設施處理后接管，生活污水經化糞池處理后接管，純水制備濃水、冷卻塔排水直接接管至新港污水處理廠集中處理。污水處理廠尾水排放標準執行《城鎮污水處理廠污染物排放標準》（DB32/4440-2022）C標準后最終排入興武溝。

（2）噪聲：本項目噪聲設備采用廠房隔聲、距離衰減、設置基礎減震的方式減少噪聲排放。

（3）廢氣：項目營運后產生的廢氣主要為非甲烷總烴和氟化氫、氨、堿霧。非甲烷總烴經二級活性炭裝置處理后高空排放；氟化氫、氨、堿霧經堿洗塔處理后高空排放。氟化物、氨、非甲烷總烴有組織排放執行《半導體行業污染物排放標準》（DB32/3747-2020）表3標準要求，廠區邊界氟化物、非甲烷總烴排放限值執行表3標準要求。廠區內揮發性有機物無組織排放限值執行《大氣污染物綜合排放標準》（DB32/4041-2021）表2限值要求，臭氣濃度有組織及無組織排放執行《惡臭污染物排放標準》（GB14554-93）中表1、表2標準要求。

（4）固廢：項目固體廢物均委托處置，零排放，不會對環境產生不利影響。